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产品型号:8 英寸卡槽盒
产品尺寸:218(L)X214(W)X207(H)mm
片槽规格:13 SLOT
适用晶圆:8 英寸晶圆
整体材质:航空铝合金(<400度)
表面处理:硬质氧化
槽 距:12.7 mm
特 征:自动锁+ 蘑菇头 +AGV+DSC