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Ultrapak®系列

Ultrapak®系列

•   单独的水平悬臂弹簧限制晶圆旋转以减少颗粒污染,并将晶圆固定在晶圆盒中以防止破损
•   超纯聚丙烯材料提供清洁的运输环境并确保低水平的可冷凝无机物
•   盒式磁带上的水平和垂直机器人拾取法兰方便操作
•   中心槽口轨道对准和“H”形杆确保垂直和水平方向精确的设备互操作性
•   三种设计选项可适应不同的晶圆厚度




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订购信息

 

零件编号

  描述

晶圆厚度范围

材料

H9150-0042

  薄晶圆运送器,未清洁

150 µ 675 µ

高纯聚丙烯

H9150-0043

  薄晶圆运送器,已清洁

150 µ 675 µ

高纯聚丙烯

H9150-0037

标准晶圆运输机,未清洁

 400 µ 800 µ

高纯聚丙烯

H9150-0038

标准晶圆运送器,已清洁

 400 µ 800 µ

高纯聚丙烯

H9150- 0042PA 

   厚晶圆运送器,未清洁

   500 µ 1500 µ

高纯聚丙烯

H9150-0043PA

   厚晶圆运送器,已清洁

   500 µ 1500 µ

高纯聚丙烯