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Solopak®系列运输箱
• 用于运输和存储应用
• 将一个晶圆面朝下或面朝上固定在仅接触晶圆边缘的锥形袋中
• 平面或凹口定位器可防止晶圆旋转,从而最大限度地减少颗粒的产生
• 双闩锁可安全关闭并轻松打开
• 镊子槽位置便利,便于晶圆处理
• 较大的顶面为贴标提供了方便的空间
• 可堆叠的运输箱可有效利用存储空间
• 销轴铰链允许托运人水平打开,为晶圆处理提供稳定性
• 透明聚碳酸酯材料无需打开即可进行目视检查
• 整体尺寸:173毫米×162毫米×16毫米(6.8英寸×6.4英寸×0.6英寸)
订购信息
零件编号 |
描述 |
材料 |
Z150-0101 |
平板晶圆运输箱 |
透明聚碳酸酯 |