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产品型号:12 英寸金属盒
产品尺寸:312(L)X420(W)X339(H)mm
片槽规格:13 SLOT + DSC
适用晶圆:12 英寸金属
整体材质:耐高温航空铝合金(<400度)
表面处理:硬质氧化
槽 距:20 mm