零件编号

手柄样式

描述

兼容的

晶圆载体

外形尺寸

材料

A72-60-03-0215

PA72-60-03-0603

挤压

附于

两者上都有凹口

载体端壁

全部“M”款式

163毫米×140毫米×183毫米

(6.4” × 5.5” × 7.2”)

天然PFA

蓝色聚

丙烯

A040-103-0215

挤压

锁杆

附于

两者上都有凹口

载体端壁

182全系列

和194系列

165毫米×152毫米×165毫米

(6.5” × 6.0” × 6.5”)

天然PFA

A049-0215

挤压

带支撑杆

附于

载体两端壁上有凹口

182全系列

和194系列

165毫米×163毫米×203毫米

(6.5” × 6.3” × 80”)

天然PFA

A72-60-04-0215

PA72-60-04-0603

弹弓

滑到

顶部法兰

承运人

182全系列

和194系列

15毫米×192毫米×237毫米

(0.6” × 7.5” × 9.3”)

天然PFA

蓝色聚

丙烯

A055-0215

End-load

附于

法兰上的

的端壁

载体，允许

承运人的处理

而是从末端开始

比在顶部

所有带有机器人法兰的托架，带有端壁手柄或 “U” 端壁的托架除外

208毫米×173毫米×46毫米

(8.2” × 6.8” × 1.8”)

天然PFA