最佳性能和高存储密度

•   晶圆垂直倾斜 5 度（除非另有说明），使晶圆能够靠在其背面，从而减少移动和颗粒产生

•   光滑表面，易于清洁且颗粒生成少

•   薄型底座可轻松接触晶圆载具端壁法兰

•   旋转销和插座铰链可防止盒子在打开时翻倒

•   可堆叠（除非注明）

•   两载能力

•   兼容载体：所有 25 个容量，不带手柄

•   外形尺寸：211毫米×405毫米×189毫米（8.3英寸×16.0英寸×7.43英寸）

H3150-0001 盒子，带有两个 K182-60MB-97C02 托架