最佳性能并减少颗粒产生

•   晶圆垂直倾斜 5 度，使晶圆能够靠在其背面，从而减少移动和颗粒产生

•   光滑表面，易于清洁且颗粒生成少

•   带固定器的销钉和插座铰链可提高耐用性

•   可堆叠

•   单运载能力

•   兼容载体：所有 25 个容量，不带手柄

•   外形尺寸：195毫米×203毫米×211毫米

(7.7" × 8.0" × 8.3")