行业标准 150 毫米工艺晶圆载体

• “H”杆上的四点接触可改善晶圆定位

• 开放式侧壁设计可最大限度地减少液体滞留并促进均匀的溶液覆盖和排水

• 高轮廓设计可最大程度地保护晶圆

• “H”栏设备接口

• 顶部导轨上的销钉和孔

• 耐化学腐蚀的天然 PFA 材料

• 晶圆容量：25

• D1 尺寸：14.5 毫米（0.57 英寸）

• 口袋间距：4.8 毫米（0.19 英寸）

• 口袋平面：1.5 毫米（0.06 英寸）