外形小巧，可在离心应用中实现最佳性能

• 低轮廓可提高晶圆的喷雾渗透力

• 开放式侧壁设计可最大限度地减少液体滞留并促进均匀的溶液覆盖和排水

• “H”栏设备接口

• 顶部导轨上的销钉和孔

• 耐化学腐蚀的天然 PFA 材料

• 晶圆容量：25

• D1尺寸：14.5 毫米（0.57 英寸）

• 口袋间距：4.8 毫米（0.19 英寸）

• 口袋平面：1.4 毫米（0.05 英寸）