行业标准 150 毫米晶圆载具

• 高刚性和尺寸稳定性

• “H”杆和轨道上的四点接触可改善晶圆定位（除非另有说明）

• 开放式侧壁款式

• 高轮廓设计可最大程度地保护晶圆

• 定位第十三个凹槽中心的轨道凹口（除非另有说明）

• “H”栏设备接口

• 顶部导轨上的销钉和孔

• 晶圆容量：25

• D1尺寸：14.5 毫米（0.57 英寸）

• 口袋间距：4.8 毫米（0.19 英寸）

• 口袋平面：1.5 毫米（0.06 英寸）