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SB300 FIMS兼容FOSB 在自动化FOSB中确保300mm晶圆 随着300毫米晶圆进入更先进的工艺节点,颗粒保护要求变得更加严格,这使得自动化比以往任何时候都更加重要。SB300是首个与FIMS兼容的FOSB (前开式标准盒),并且自推出以来,我们不断改进其原有的技术领先设计。我们在自动化领域的卓越历史在SB300 FOSB中得以延续。 除了FIMS兼容性外,SB300 FOSB还釆用了模压成型的晶圆支撑结构,这使得它在整个使用寿命期间都能实现精确且永久的晶圆平面定位,从而在竞争中脱颖而出。这些固定的晶圆平面减少了对侧柱更换的需求,侧柱不仅难以清洁,而且在尺寸上也不稳定。这种不稳定性可能导致在重复使用的竞争性FOSB上出现设备错误。模压成型的晶圆支撑更容易高效清洁,为晶圆提供了更好的环境,同时在行业要 求的多次重复使用周期中更具可重复性和可靠性。 最佳自动化性能 SB300 FOSB结合了多种功能,提供可靠的自动化接口和互操 作性,例如精确的全间距10毫米(0.4”)晶圆间距、自动FI MS门、顶部自动化法兰、输送导轨和运动学耦合接口。 |
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最大生产力 精确的晶圆平面可最大限度地提高晶圆传输吞吐量,而尺寸稳 定的设计可提高工具和AMHS的正常运行时间。 |
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超纯聚碳酸酯外壳, 尺寸稳定 |
低颗粒产生和脱气 |
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模制晶圆支撑 |
允许多次使用中的晶圆定位精度,并最大 限度地减少组件接口,限制颗粒产生 |
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FIMS自动化 |
最大限度地减少人为污染和周围环境的影 响 |
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保护垫片和
过滤器 |
高过滤流量允许外部空气通过,而不是 被迫通过垫片 |
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人体工程学设计 |
允许多种人体工程学方向,优化操作员操 作 |
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无金属组装 |
无金属污染 |
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规格 |
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材料 |
水接触部分 |
外壳、门、门垫 |
聚碳酸酯 |
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后挡板 |
聚对苯二甲酸丁二醇酯 |
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外部 |
手柄、自动法兰、信息板 |
聚碳酸酯 |
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垫片 |
热塑性弹性体 |
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KC板 |
聚碳酸酯 |
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容量 |
25 wafers |
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尺寸 |
深度 |
332.77 mm ±0.1 mm (13.10” ±0.005”) |
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宽度 |
389.52 mm ±0.1 mm (15.33” ±0.005”) |
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高度 |
336.93 mm ±0.1 mm (13.26” ±0.005”) |
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2件装二次 |
长度 |
680 mm (26.77”) |
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包装尺寸 |
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宽度 |
415 mm (16.34”) |
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高度 |
365 mm (14.37”) |
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重量 |
空 |
4.6 kg (10.1 lb) |
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满 |
7.8 kg (17.2 lb) |
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晶圆 |
Size |
300 mm |
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Pitch |
10.0 mm (0.39”) |
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Planes |
±0.5 mm (0.02”)
from nominal |
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配置选项和附件 |
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颜色 |
门板 |
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绿色、橙色、红色、白色或灰色 |
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标识 |
标准 |
条形码 |
每个门和外壳上的模制条形码 |
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选项 |
RFID芯片 |
32 mm (1.26”)玻璃应答器 TI PN RI-TRP-RR2B |
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水平方向连接到KC板 (无需额外支架) |
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垂直方向连接到RFID支架 (卡片或标签支架) |
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标签表面 |
平面标签表面支架/RFID可用 |
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卡片支架 |
卡片表面支架/RFID可用 |
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信息板 |
KC板上有4个位置可用,卡入式 |
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可选部件 |
手柄 |
90°设计 |
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30°设计 |
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顶部自动化法兰 |
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364.74 mm (14.36") |
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305.68 mm |
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uコ |
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330.00 mm (12.99") |
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332.77 mm (13.10") |
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337.88 mm |
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Side View Without Handle |
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332.77 mm (13.10") |
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165.24 mm (6.51") —J |
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330.00 mm |
