概述

前开式统一pod平台，具有卓越的微环境控制。

A300 FOUP提供清洁和安全的晶圆运输，提供干净安全的晶圆运输、最佳自动化集成和最低成本。

特征-技术赋能

l  无与伦比的可清洁性和干燥性=

l 通过门闩，传送带板和顶部手柄有效地将晶片接地

l ESD外壳选项可增加晶片保护

l  高级吹扫选项

— 前/后吹扫选项

—吹扫-扩散呼吸管可实现最佳吹扫气体分散

l  用于晶圆接触和微环境控制的优化FOUP材料

互操作性

•经过行业验证的门，可实现设备互操作性和长寿命

•晶圆支架与外壳集成，提供卓越的晶圆平面性能和可靠的晶圆存取

•精确的设备接口

—顶部机器人法兰

—底部运动耦合

—符合所有适用的SEMI®标准

材料

l  FOUP外壳、门罩和门板使用超纯聚碳酸酯或阻隔材料

l碳填充PC或阻隔材料，用于壳体、门外壳和门组件中的晶片接触区域

l 用于关键车门密封件的热塑性弹性体 (TPE) 或聚对苯二甲酸丁二醇酯 (PBT) 材

l 阻燃材料可供选择

l  湿度控制屏障材料可用于实现尖端晶圆加工技术

配置选项和附件

外壳和门的颜色选择

琥珀色、红色、绿色、透明和黑色（仅限ESD外壳）

隔离选项

可由客户配置

识别选项

•条形码和字母数字字符标签

•彩色手柄

•持卡人

•具有读/写功能的RFID标签

规格

订购信息