过滤系统设计_湿法&黄光机台纯水二次纯化辅助设备 DIW Purification Station
Photo/Wet 设备先进制程都会涉及DIW 二次纯化需求，大大降低金属离子和颗粒产生的defect
示例是客制化的20” filter 并联 * 2组 DIW local supply满足一台设备两个HQDR tank DIW 纯化使用.
进出口安装气动阀，与leak sensor联动, 包含CDA电磁阀/调压阀/以及电磁阀手动开关按钮.
厂务提供24V供电和DIW 接入
设备放置于机台后方，距离设备约3m.
液体过滤器更换及相关设备改造
